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一體化氣體分配系統(tǒng)

利用平面密封技術(shù),在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹

MGDS氣體輸送系統(tǒng),利用平面密封技術(shù),在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)。每個(gè)表面安裝組件遵循 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),可根據(jù)需求形成不同的配置形式。維護(hù)時(shí),僅需在面板上方進(jìn)行操作,簡(jiǎn)單方便。

MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單向閥、底座及零部件。

主要部件材料

MGDS底座系列                      316L /316L(VIM+VAR)

MHD系列                               316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy

MPD系列                                316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy

MCV系列                                316L/316L(VIM+VAR)+Ni-Co alloy+FFKM

工作條件

工作壓力                0 ~ 150psi

外漏率                    ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He

工作溫度                -10 ~ 60℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

產(chǎn)品特點(diǎn)

利用平面密封技術(shù),在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件

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