DP系列氣動(dòng)隔膜閥
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產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
DP 系列氣動(dòng)隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低泄漏率，穩(wěn)定快速的執(zhí)行機(jī)構(gòu)；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破壓力 低壓 3000psig, 高壓 9000psig
流量系數(shù) 1/4" 為 0.25 , 1/2"HF 為 0.7
工作溫度 低壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
適合超高純度氣體應(yīng)用
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
快速、可重復(fù)執(zhí)行的氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)
每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測(cè)
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2024-11-21
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