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前驅(qū)體源瓶

超純物料類(lèi)的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓

一體化氣體分配系統(tǒng)

利用平面密封技術(shù)，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)

手動(dòng)真空波紋管角閥系列

內(nèi)表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm｜工作溫度：-10 ～ 80℃

BV2球閥

工作壓力 真空至 200psig｜工作溫度 -28 ～ +150℃

氣動(dòng)真空波紋管角閥系列

開(kāi)啟壓力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作溫度：-10 ～ 80℃

手動(dòng)波紋管截止閥

工作溫度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃｜壓力等級(jí)：0 ～ 400psig

氣動(dòng)波紋管截止閥系列

開(kāi)啟或關(guān)閉壓力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作溫度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃

BVT閥門(mén)

工作壓力 真空至 1000psi｜工作溫度 -30 ～ +150℃

QPV（H）高速隔膜閥

工作壓力：真空至145psig｜流量系數(shù)：0.27/0.62｜工作溫度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
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中科艾爾

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